ナノ構造の透過像と表面像が同時に得られます

機能性の向上を目的として、カーボン粒子やSi粒子の表面に様々な無機物質の担持・被覆処理が実施されますが、その頻度や形状を把握することは特性を制御する上で重要です。FE-TEMによる形態観察はナノ構造の観察に適していますが、透過像であるため、表面の凹凸形状を見落としてしまうことがあります。弊社保有のFE-TEM装置にはSEMの検出器も搭載されていますので、STEM像と同時にSEM像を取得することにより、表面の微細構造を確認しながら、分析領域を絞り込むことが可能です。

Zn含有成分を担持したカーボン粒子の観察

Zn含有成分を担持したカーボン粒子について、STEM、SEM同時観察を行いました、その結果、カーボン粒子表面に、20nm前後の微粒子が点在していることがわかりました〔図1〕。また、試料を高倍率で観察することで、カーボンおよび微粒子の結晶性を観察することができました〔図2〕。さらに、高倍率での元素マッピング像を取得することで、この微粒子の主成分がZn,Oであることが確認されました〔図3〕。