複合材料の三次元元素マッピングが可能です
複合材料において、その特性（例えば、熱伝導性、電気伝導性、機械強度など）を効果的に発現させるためには、各相の存在状態を三次元で正確に把握し、材料設計にフィードバックすることが極めて有効です。この『各相の立体情報の取得』に、集束イオンビーム/走査型電子顕微鏡複合装置（FIB-SEM）を用いた三次元元素マッピング（3D-EDX）が大きな威力を発揮します。
多種フィラー含有樹脂の3D-EDX
複数種類のフィラーを含有する樹脂について、FIB-SEMを用いた3D観察を行った結果を図1, 2に示します。3D-SEM像では、樹脂中に分散するフィラーが明瞭に観察されていますが、フィラーの種類を判別することが困難でした〔図1(a)〕。一方、3D-EDX像では、構成元素の違いにより各種フィラーを区別して観察することができました〔図1（b)〕。なお、各元素の抽出像により、各種フィラーの形状やサイズ分布などの情報を得ることができます〔図2〕。
その他の応用
FIB-SEMに付随した冷却機能を駆使することで、食品、化粧品、動植物細胞、ゴム製品、ディスプレイ部材、各種電池部材、合金材料など、さまざまな材料の3D構造解析に幅広く適用できます。
