無機粒子を分散したアクリル粘着剤の三次元観察
粘着剤は熱に弱く、常温のFIB加工ではダメージのない綺麗な断面を得ることはできません。しかし、試料を冷却しながらFIBを用いて断面加工を行うことで、ダメージを抑えた綺麗な断面調整が可能です。
さらに加工と観察を繰り返すことで、三次元観察もできます。
例えば無機フィラーが分散された粘着剤を延伸した際に、その延伸前後の画像を比較すると、フィラーが延伸方向に配列していることが一目瞭然に観察できます。
もちろん見た目の状態を定量化(数値化)することも可能です!