燃料電池触媒層のFIB-SEM観察
数10nmサイズの構造体に対して、3D-SEMを用いて詳細に解析しました。
燃料電池は「水素」と空気中の「酸素」を反応させて電気を発生させる、CO2などの有害物を出さないクリーンなエネルギーです。その燃料電池の触媒層に存在する空隙は、燃料の水素と酸素および、生成した水蒸気の「通り道」となるため、空隙構造の三次元定量評価は重要です。
FIB-SEMを用いて3nm間隔で連続断面像を取得し、三次元像を構成することで、数10～100nmサイズの空隙の三次元形態を確認できます。また、空隙のサイズ分布や、「通り道」の状態を数値的に把握する定量評価も可能です。
