多層膜の3D-TEM観察

多層膜の中間層の厚み分布や層間面の粗さを確認できます。
基材上にコート層を2層塗布した試料について、各層の表面粗さを測定した事例を紹介します。
通常、表面粗さの測定は露出した最表面の凹凸を検知することになります。
当社では三次元観察と画像解析により、表面粗さ以外にも多層内部の界面粗さ評価することが可能です。