多層膜中異物のFIB-SEM観察
ガラス基板上多層膜の表面に認められた数μmサイズの外観異常について原因調査をしました。
この異常部は表面の付着物ではなく、内部に存在する異物であると推定されました。
そこで、異物が混入した工程を明らかにするため、FIB-SEMを用いて断面方向から観察を行いました。
連続断面SEM像を取得したところ、多層膜の最下層(ガラスとの界面)に異物が存在していることが明らかになりました。
また、多層膜は異物に沿って積層されていることから、多層膜成膜前に付着していることがわかりました。
このように、三次元観察では、異物の発生工程などの要因を解析できる有効な分析手法のひとつです。
