フッ素系ポリマー多孔質シートのFIB SEM観察

空気を通すが水を通さない膜について内部構造を三次元観察しました。フッ素は電子線に弱い材料であり、電子顕微鏡で観察するには工夫が必要になります。そのフッ素系材料に対して、加工と観察に長時間がかかるFIB-SEMを用いて分析しました。膜の内部はネットワーク状に繊維が存在し、間にミクロな孔がたくさん確認できます。空孔のサイズに色付けしてサイズ分布を可視化することもできるので、空孔のサイズ分布が一目瞭然です。立体像は好きな角度で好きなように切って観察することもできます。