蛍光X線分析装置
X-Ray Fluorescence spectrometry(XRF)
概要
試料にX線(一次X線)を照射して得られた蛍光X線(特性X線)を分光結晶で分光し、元素の特定を行います。試料中に含まれているB(ボロン)からU(ウラン)までの元素を数100~数ppmオーダーで分析ができます。
特徴
- 前処理なしで迅速に分析可能
- 非破壊分析
- ファンダメンタルパラメーター(FP)法を用いて標準試料なしに半定量が可能
- SEM-XMAよりも大きな面積の元素分析が可能
測定対象試料と必要量
高分子材料、複合材料、無機化合物、金属
固体等:10g程度
液体試料:0.5mL程度
注)粉体はプレスして、液体はろ紙に滴下して、分析を行います。