透過型電子顕微鏡

概要

透過電子顕微鏡は、薄膜試料に電子線を透過させ、その際に試料中の原子により散乱・回折された電子を透過電子像として観察する装置です。電子線は試料（密度や結晶状態）により散乱・回折が異なることでコントラストが得られ、試料の内部構造を観察することができます〔図1〕。

特徴

• 高分子材料の形態観察（モルフォロジー観察）に有効。
• 電子染色により、組成を反映したコントラストとしてTEM観察が可能。
• 薄膜の厚み測定（下塗り層の厚みなど）が可能。