冷却集束イオンビーム／走査型電子顕微鏡複合装置
Cryo Scanning Electronscopy Combined with Focused Ion Beam（Cryo FIB-SEM）
概要
集束イオンビーム（FIB）での微細加工および走査型電子顕微鏡（SEM）による高分解能観察を同時に行える複合装置です。
特徴
- TEM分析用薄膜試料の高精度調製が可能。
- クライオシステムにより、ソフトマテリアルからハードマテリアルまで、多種多様な試料の分析に対応。
- サブミクロンからミクロンレベルの3D構造観察、定量解析が可能（FIB断面加工と断面SEM観察の反復により連続断面SEM像を取得し、3D再構成を行う〔図〕。
測定対象試料とサイズ
- -130℃以上、高真空下において固体として存在する試料（Ga+イオン、電子線照射時に変形・変質するものは分析に向きません。）
- 直径150mm×厚さ20mm（観察体積は最大20×20×20µm3程度）
