電界放射型透過電子顕微鏡

概要

試料に電子ビームを透過させ、主にその内部構造を高倍率（ナノ領域）で観察する装置です。

特徴

• 試料の形状、表面構造、凝集度合い、結晶パターン、格子欠陥の存在および結晶の配向方位が得られる。
• EDXにより局所領域（ビーム径：１nmφ）での元素分析が可能。