電界放射型走査電子顕微鏡

概要

試料表面を細く絞った電子ビームで走査し、発生した2次電子量を測定することにより、試料表面の凹凸を反映した拡大像を得る装置です。

特徴

• 低倍率から高倍率の観察が可能(20～800,000倍)。
• 組成を反映した像が得られる〔反射電子像〕。
• 元素分析ができ、マッピング像（各元素の分布を示す像）が得られる〔特性X線：EDX分析〕。
• 非導電性試料は、導電処理が必要。